·薄型、小巧
·实现了机械、装置小型化、构造简单化。 · 内置刚性性能优异的支撑装置 [用途] · 半导体制造设备 : 搬运机器人、检查平台 · 液晶制造设备 : 搬运机器人、检查平台 · 光产业相关装置
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